因此，半导体行业对砷烷尾气处理非常谨慎，普遍采用干式吸附尾气处理设备。这类设备通过化学反应将砷烷转化为无害化合物，避免二次污染。苏州新耀环保的干式吸附设备凭借其稳定性、高效处理和结构合理等特点脱颖而出，成为业界优选。
Scrubber是一个英语单词，它的基本意思是清洗或刷洗。在环境保护领域中，Scrubber指的是一种排放气体污染物的设备，通常用于大型工业设施中。它主要是通过将废气通过液体或固体吸收剂中以达到减轻污染物排放的目的。
吸附式尾气处理设备，又称为吸尘尘附式尾耐纳气处昌兄没理设备，利用直流电源将工作气体（通常是氮气）引入等离子体反应器。 在强电流的作用下，这些气体被电离成等离子体，并瞬间产生高温火焰。 这一过程能有效分解废气中的有害成分。
吸附式尾气处理设备，又称Local Scrubber，是半导体厂常用的小流量废气处理设备。这类设备利用多孔性固体吸附剂，如活性炭等，处理混合气体，将有害物质吸附在固体表面，实现分离与净化。
洗涤塔，一种用于废气净化处理的设备，英文名为Scrubber，主要功能为去除废气中的有害成分。按照用途分类，主要有有机洗涤塔、酸碱废气洗涤塔、热排气洗涤塔等。设计原理上，以酸碱废气洗涤塔为例，它利用填充式湿式洗涤塔去除制程产生的酸性废气如HCL、H2SO4及HNO3或碱性气体NH3等。
吸附式尾气处理设备吸附式尾气处理设备，通过直流电源，使工作气体（氮气）进入等离子体反应器，在正负极强电流的作用下，被电离成等离子体，瞬间产生巨大的火焰，产生的高温火焰将废气分解。吸附是利用多孔性固体吸附剂处理混合气体，使其中所含的一种或多种组分吸附于固体表面上，达到分离的目的。
1、硅烷使用后产生的废气，若未经处理直接排放，将对人体和环境造成严重危害。硅烷反应性和自燃性强烈，具有广泛的着火范围和强大的燃烧能量，对人体呼吸器官有强烈的刺激性，是一种高危险性的气体。在半导体工厂中，硅烷废气通常由真空Pump抽至废气处理设备Local Scrubber进行处理，然后再进一步处理。
2、硅烷气体在常温下是一种高度危险的气体，因为它在空气中易燃，并且当遇到空气或者水时会释放大量的热量。这种热释放可以导致激烈的化学反应甚至引发爆炸。因此，处理硅烷气体时必须严格遵守安全操作规程。硅烷气体的应用领域非常广泛。
3、有危害，具体危害是硅烷分解产生无定型二氧化硅，眼睛接触无定型二氧化硅颗粒会引起刺激。吸入危害：吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。硅烷会刺激呼吸系统及粘膜。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病，这是由于存在结晶二氧化硅的原因。暴露于高浓度气体中还会由于自燃而造成热灼伤。
4、硅烷，化学式SiH4，又称四氢化硅，其发音为si-hai。它是一种无色且易与空气反应产生窒息性气体的化合物。CAS号为7803-62-5，纯度高达999%。硅烷属于易燃气体和有毒气体，危险级别为1。硅烷的危害主要表现在对眼睛和呼吸系统的刺激。
1、半导体工业废气处理价格因机构而异，性价比高者推荐采用量化检测方法。此法所用设备先进，在废气处理检测方面能迅速出具结果，同时具备法律效力，且检测结果精准。相比其他机构，其价格更为公道，避免了套路的可能。量化检测方法之所以被认为是性价比高的选择，主要得益于其采用的先进设备和检测技术。
2、半导体废气处理技术与系统：废气通过分类密闭收集，分为酸性、碱性、有机、一般尾气等。处理系统包括本地（POU）与中央处理系统。酸性废气通过酸碱中和，使用喷淋洗涤工艺处理，常用的吸收液为NaOH或NaClO溶液。碱性废气采用喷淋洗涤处理，常用吸收液为H2SO4溶液。
3、废气治理需按照其化学属性与影响范围，将其分为四类：易燃性、毒性、腐蚀性以及温室效应气体。对于泛半导体产业的废气治理，苏州品控环境科技有限公司提供专业解决方案。
4、吸附式尾气处理设备，又称Local Scrubber，是半导体厂常用的小流量废气处理设备。这类设备利用多孔性固体吸附剂，如活性炭等，处理混合气体，将有害物质吸附在固体表面，实现分离与净化。
5、有机废气需达到98%，烷类废气需达到99%，PFC需达到95%，特定气体需达到99%等。此外，SEMI S29评估尾气处理系统对含氟温室气体的处理效率，引入DRE（分解或移除效率）的概念，以确保所有法规中管控的目标气体处理效率。Scrubber的检测手段/仪器包括GC、GC-MS、FTIR、RGA等，以确保尾气成分的准确评估。
